Đồng hồ đo lưu lượng khí mini ESMF005 dùng cho Oxy, Nitơ, Carbon.

Đồng hồ đo lưu lượng khí nhiệt thu nhỏ ESMF005 hoạt động dựa trên định luật khuếch tán nhiệt và định luật King. Nó sử dụng công nghệ vi cơ điện tử MEMS để tích hợp chip cảm biến, với lõi gồm một phần tử gia nhiệt siêu nhỏ và các đầu dò nhiệt độ được bố trí đối xứng, cho phép đo trực tiếp lưu lượng khí mà không cần bù nhiệt độ và áp suất. Khi hoạt động, nó hoạt động ở chế độ chênh lệch nhiệt độ không đổi hoặc chế độ công suất không đổi, tận dụng hiệu ứng tản nhiệt khi khí chảy qua phần tử gia nhiệt. Tốc độ mất nhiệt được chuyển đổi thành tín hiệu điện, sau khi xử lý tín hiệu sẽ xuất ra dữ liệu tiêu chuẩn, với tốc độ phản hồi đạt mức mili giây. Đồng hồ đo lưu lượng này nhỏ gọn, tiêu thụ điện năng thấp, có cấu trúc nhỏ gọn và tổn hao áp suất thấp, có độ chính xác cao, độ ổn định cao và khả năng chống nhiễu mạnh. Nó có thể đo tốc độ dòng chảy rất thấp với độ phân giải lên đến 0,01 m/s. Sản phẩm có thiết kế kín hoàn toàn và thích ứng với nhiều môi trường phức tạp khác nhau. Nó được sử dụng rộng rãi trong sản xuất chất bán dẫn, thiết bị hô hấp y tế, giám sát môi trường, điều khiển quy trình công nghiệp và nghiên cứu khoa học, giúp giám sát chính xác lưu lượng khí xử lý, khí y tế, khí thải và các loại khí sạch khác, cung cấp dữ liệu đáng tin cậy hỗ trợ vận hành thiết bị và tối ưu hóa quy trình.

Liên hệ với chúng tôi

chi tiết sản phẩm

Nguyên lý hoạt động

Cảm biến MEMS bao gồm hai điện trở bạch kim dạng miếng dán, một điện trở đo nhiệt độ của khí trong ống và điện trở còn lại được đốt nóng bằng dòng điện, giữ cho chênh lệch nhiệt độ giữa hai điện trở nhiệt không đổi. Khi khí chảy qua điện trở nhiệt, sẽ có hiệu ứng làm mát. Khi tốc độ dòng chảy tăng lên, hiệu ứng làm mát tăng lên và công suất cảm biến cần thiết để giữ cho chênh lệch nhiệt độ giữa hai điện trở nhiệt không đổi cũng tăng lên. Công suất được thêm vào điện trở đốt nóng tỷ lệ thuận với tốc độ dòng chảy khối lượng.

tính năng sản phẩm

1. Công nghệ lõi tiên tiến: Sử dụng quy trình tích hợp vi cơ điện tử MEMS, tích hợp bộ phận gia nhiệt và đầu dò nhiệt độ vào một vi mạch. Nó hoạt động dựa trên các định luật khuếch tán nhiệt và định luật King, không cần các mô-đun bù nhiệt độ và áp suất bổ sung, cho phép đo trực tiếp và chính xác lưu lượng khối lượng khí và tránh các lỗi của phép đo gián tiếp.

2. Thiết kế nhỏ gọn và tiêu thụ điện năng thấp: Cấu trúc tổng thể nhỏ gọn, với thể tích nhỏ hơn nhiều so với các đồng hồ đo lưu lượng truyền thống, phù hợp với không gian lắp đặt chật hẹp; tiêu thụ điện năng cực thấp, ứng dụng rộng rãi trong các thiết bị di động và các tình huống sử dụng pin, mang lại hiệu quả năng lượng cao trong thời gian dài.

3. Hiệu suất đo lường vượt trội: Độ chính xác cao và độ phân giải mạnh, có khả năng ghi nhận chính xác các biến đổi lưu lượng nhỏ (độ phân giải lên đến 0,01 m/s); tốc độ phản hồi nhanh (mức mili giây), có khả năng theo dõi biến động lưu lượng theo thời gian thực, với độ trễ tối thiểu và độ ổn định vượt trội.

4. Tiện lợi và bền bỉ: Tổn thất áp suất tối thiểu, không ảnh hưởng đến hiệu suất cung cấp khí; thiết kế kín hoàn toàn, chống bụi và ẩm, thích ứng với nhiều môi trường công nghiệp và phòng thí nghiệm phức tạp; dễ lắp đặt, không cần gỡ lỗi phức tạp và chi phí bảo trì thấp.

5. Khả năng tương thích rộng: Có thể đo nhiều loại khí sạch khác nhau, tương thích với khí công nghiệp, khí y tế, khí thải, v.v., phù hợp với nhu cầu giám sát lưu lượng trong ngành bán dẫn, y tế, bảo vệ môi trường, điều khiển công nghiệp, nghiên cứu và các lĩnh vực khác, mang lại tính linh hoạt cao.